새로운 GEMÜ CleanStar High

GEMÜ C60 CleanStar, 공압 작동식 및 GEMÜ C67 CleanStar, 수동 작동식, 액추에이터 크기 4. (이미지 출처: GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG):

밸브 설계에 대한 반도체 산업의 요구 사항은 지속적으로 증가하고 있습니다. 마이크로칩의 구조가 점점 작아지면 입자가 없는 최대 순도의 유체가 필요합니다. 웨이퍼 직경이 커지면서 지난 몇 년 동안 필요한 공정 매체의 양이 동시에 증가했습니다. GEMÜ는 새로운 액추에이터 크기 출시 시 이러한 두 가지 개발을 모두 고려합니다. 새로운 액추에이터 크기 4는 공칭 크기 1½" 및 2"로 제공되며 매체 접촉 부품은 PFA 및 PTFE TFMTM으로 제작됩니다. 이러한 조합을 통해 대량의 미디어를 운송할 수 있으며 반도체 생산의 공급 및 유통 수준에서도 초순수 밸브 설계를 사용할 수 있습니다. 컴팩트한 GEMÜ CleanStar 디자인은 우수한 유량/면적 비율을 동시에 보장하며 향후 GEMÜ 600 HP 및 GEMÜ 677 HP/HPW 다이어프램 밸브를 대체할 것입니다.

GEMÜ CleanStar: 검증된 디자인으로 새로운 애플리케이션을 정복합니다 GEMÜ CleanStar 시리즈의 장점은 다양합니다. 중앙 유니온 너트는 액추에이터와 밸브 본체 사이에 안정적인 조인트를 생성하며 금속 부품을 전혀 사용하지 않습니다. 위어 디자인(위어 스타일)은 낮은 응력의 미디어 채널링을 보장하고 데드렉을 최소화하며 흐름 방향을 지정하지 않습니다. 외부 부품은 PVDF를 사용하여 매우 우수한 내화학성을 나타냅니다. 밸브의 유연한 설치를 위한 누출 감지 구멍과 슬롯형 구멍이 이미 본체 설계에 통합되어 있습니다. 이 시리즈에는 표준으로 위치 표시기도 있습니다. 이러한 모든 장점은 새로운 액추에이터 크기 4의 규모에 적용되었습니다. 더 큰 공칭 크기 덕분에 GEMÜ는 이미 공급 및 유통 수준(시설 및 하위 공장)에서 고객을 위해 모든 명명된 제품 ​​이점을 활용하고 있습니다. 반도체 생산.

출처: GEMÜ Gebr. 뮐러 Apparatebau GmbH & Co. 킬로그램